01 Yêu cầu về môi trường sản xuất chip bán dẫn
Do các thiết bị điện tử được sản xuất và chế tạo trong quá trình có yêu cầu rất cao đối với chất lượng không khí bên trong phòng, chủ yếu tập trung vào kiểm soát bụi bẩn và các hạt nhỏ, đồng thời còn quy định nghiêm ngặt về nhiệt độ, độ ẩm, lượng không khí tươi và mức độ ồn trong phòng.
1, Mức độ ồn trong phòng (trạng thái trống): không nên vượt quá 65dB(A)
2. Tỷ lệ phủ kín của phòng sạch luồng thẳng đứng không được nhỏ hơn 60%, phòng sạch luồng đơn hướng ngang không được nhỏ hơn 40%, nếu không sẽ trở thành luồng đơn hướng cục bộ.
3. Chênh lệch áp suất giữa trong phòng và ngoài trời không được nhỏ hơn 10Pa, chênh lệch áp suất giữa khu vực sạch và khu vực không sạch có cấp độ sạch khác nhau không được nhỏ hơn 5Pa.
4, Lượng không khí tươi trong phòng sạch nên lấy giá trị lớn nhất trong hai trường hợp sau:
5, Tổng lượng không khí tươi cần thiết để bù đắp lượng không khí thải trong phòng và duy trì áp suất dương trong phòng.
6, Đảm bảo lượng không khí tươi cung cấp cho mỗi người trong phòng sạch mỗi giờ không nhỏ hơn 40m³.
7. Hệ thống điều hòa không khí làm nóng cần được trang bị gió mới, bảo vệ ngắt điện khi nhiệt độ quá cao, nếu sử dụng phương pháp gia nhiệt bằng hơi nước thì cần có hệ thống bảo vệ khi thiếu nước. Tại các khu vực lạnh, hệ thống gió mới cần được trang bị biện pháp chống đóng băng. Lưu lượng gió cấp cho phòng sạch.
02 Thiết kế thi công phức tạp và chi phí xây dựng cao
Phòng sạch sản xuất chip điện tử có yêu cầu khắt khe về độ sạch không khí, vì vậy thiết kế và thi công cũng vô cùng phức tạp. Ngoài ra, độ sạch càng cao thì chi phí xây dựng cũng càng lớn. tai game ban ca Ví dụ như phòng sạch luồng đơn hướng cấp 100 (FS 209), chi phí xây dựng nội thất và hệ thống điều hòa không khí là khoảng 10.000 nhân dân tệ/m². Cộng thêm các hệ thống phòng cháy chữa cháy, xử lý nước thải, cung cấp điện và tự động hóa, chi phí xây dựng có thể lên đến 25.000 đến 30.000 nhân dân tệ/m². Sau khi hoàn thành xây dựng phòng sạch chip điện tử, cần phải trải qua ba lần kiểm tra nghiệm thu: nghiệm thu trạng thái trống, nghiệm thu tĩnh và nghiệm thu động, chỉ khi hoàn tất các bước kiểm tra này mới có thể đưa vào sử dụng hàng ngày. Vì vậy, doanh nghiệp sẽ đối mặt với nhiều rủi ro kỹ thuật, cũng như áp lực trong vận hành, bảo trì, điều chỉnh và kiểm tra sau này.
03 Kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm trong phòng sạch bán dẫn Trong phòng sạch FAB, độ ẩm tương đối thường được duy trì trong khoảng từ 30% đến 50%, sai số cho phép chỉ trong phạm vi hẹp ±1%. Trang cá cược quốc tế Ví dụ như khu vực khắc quang học – hoặc khu vực xử lý tia cực tím xa (DUV) – thậm chí còn nhỏ hơn nữa, trong khi ở những khu vực khác có thể mở rộng lên ±5%.
Vì độ ẩm tương đối có một loạt các yếu tố có thể làm giảm hiệu suất tổng thể của phòng sạch, bao gồm:
-
Sự phát triển của vi khuẩn;
-
Phạm vi nhiệt độ mà nhân viên cảm thấy thoải mái;
-
Xảy ra điện tích tĩnh;
-
Gỉ sắt;
-
Ngưng tụ hơi nước;
-
Suy giảm trong quy trình lithography;
-
Tính hút ẩm.
Vi khuẩn và các dạng ô nhiễm sinh học khác (nấm mốc, virus, nấm, giòi) có thể phát triển mạnh trong môi trường có độ ẩm tương đối trên 60%. Một số loại vi khuẩn có thể phát triển khi độ ẩm vượt quá 30%.
Công ty Môi trường Thượng Thái, Quảng Đông cho rằng nên duy trì độ ẩm trong khoảng từ 40% đến 60%, giúp giảm thiểu tác động của vi khuẩn cũng như nguy cơ nhiễm trùng đường hô hấp. Khoảng độ ẩm này cũng là mức mà con người cảm thấy thoải mái nhất. Độ ẩm quá cao khiến người ta cảm thấy bí bách, còn độ ẩm dưới 30% lại gây khô da, đau họng và khó chịu về mặt tinh thần. Độ ẩm cao thực sự làm giảm tích tụ điện tĩnh trên bề mặt phòng sạch – đây là điều mong muốn. Ngược lại, độ ẩm thấp dễ gây tích tụ điện tĩnh và trở thành nguồn phát sinh điện tĩnh có thể gây hại. Khi độ ẩm tương đối vượt quá 50%, điện tĩnh bắt đầu phân tán nhanh chóng, nhưng khi độ ẩm dưới 30%, điện tĩnh có thể tồn tại lâu dài trên bề mặt cách điện hoặc chưa nối đất. Khoảng độ ẩm từ 35% đến 40% là một sự cân bằng hài hòa. Các phòng sạch bán dẫn thường sử dụng thêm thiết bị kiểm soát để hạn chế tích tụ điện tĩnh. Độ ẩm ảnh hưởng đến tốc độ của nhiều phản ứng hóa học, bao gồm cả quá trình ăn mòn. Khi độ ẩm tăng, tốc độ phản ứng sẽ tăng theo. Tất cả các bề mặt tiếp xúc với không khí trong phòng sạch đều nhanh chóng được bao phủ bởi ít nhất một lớp phân tử nước. Khi những bề mặt này được làm từ lớp kim loại mỏng có thể phản ứng với nước, độ ẩm cao sẽ làm tăng tốc độ phản ứng. May mắn thay, một số kim loại như nhôm có thể tạo ra lớp oxit bảo vệ, ngăn chặn phản ứng oxy hóa tiếp theo; nhưng ngược lại, ví dụ như đồng oxit, không có khả năng bảo vệ, do đó bề mặt đồng dễ bị ăn mòn hơn trong môi trường có độ ẩm cao.
Ngoài ra, trong môi trường có độ ẩm cao, do hấp thụ nước, quá trình sấy sẽ làm tăng sự giãn nở của lớp keo quang học. tai game ban ca Tính bám dính của keo quang học cũng có thể bị ảnh hưởng tiêu cực bởi độ ẩm cao; độ ẩm thấp (khoảng 30%) giúp keo quang học bám dính tốt hơn, thậm chí không cần chất cải thiện polymer hóa. Việc kiểm soát độ ẩm trong phòng sạch bán dẫn không phải là tùy tiện. Tuy nhiên, theo thời gian, tốt nhất nên xem xét lại lý do và cơ sở cho các thực hành phổ biến hiện nay.